摘要：自从进入到二十一世纪以来，我国的科学技能开展水平就在不断提进步，随之而来电子工业的开展脚步也随之加速，集成电路芯片制作以及液晶显现面板制作出产厂家的运作和开展也趋于老练，高世代的TFT-LCD出产线中包含着8.5代出产线国内现已有数十条出产线正在处于建造过程中，特别是12英寸的晶圆出产线有多条现已建成，一起投入到出产之中，正式因为产品出产工艺的实践特征，导致这类的出产用洁净厂房的实践需求度是极高的，此刻，就需求对厂房的洁净程度予以全方面的检测，笔者依据此问题进行了剖析和概括。
关键词：洁净厂房；检测剖析
1导语
随着中国国内电子工业的快速开展，集成电路芯片制作和液晶显现器面板（TFT-LCD）制作的出产工厂现已建造或正在建造达数十家，高世代的TFT-LCD出产线包含8.5代出产线国内现已建成的近10条、10.5代出产线正在建造中；12英寸晶圆出产线已有多条建成投入出产。因为产品出产工艺的特色，此类出产用洁净厂房的洁净度等级要求都较高，大面积区域洁净度等级为ISO4.5级～ISO5.5级，出产部位需到达ISO2级～ISO3级（0.1µm），洁净区层高最高到达7.5m乃至9m，洁净区面积超大，一条8.5代出产线洁净室面积达50余万m2，单一洁净室面积达8万m2，净化空调体系为FFU+新风体系，FFU总数量有8万台左右，检测作业量巨大，测验施行难度也远超各类洁净厂房。
2关于洁净厂房检测参数和技能指标的剖析
电子工业洁净厂房环境参数可以直接给产品的良品率带来极大的影响，保证洁净室之内动态环境下和静态环境下的每一项餐参数都应当契合设计的内容需求，通常状况下，电子洁净厂房关于各类参数的要求都是极为严厉的，比方，关于排气量、新风量、工艺排气、FFU装置检漏、温湿度、照度、静压差、防静电、FFU风速、洁净度等级、噪声以及气流流型等要素的操控需求都是极端严厉和谨慎的，不只如此，还有其间的超纯水测验以及超纯气体测验都是必要的，笔者对洁净室的参数测验办法进行了相应的剖析，以某8.5液晶面板出产线的彩膜和成盒厂房为例进行讨论，对其实践测验参数和相关技能指标予以论述。
3关于FFU面风速测验办法的剖析
FFU面风速测验过程中，需求结合相关的技能标准《洁净厂房施工及质量验收标准》GB51110及ISO14644-3中的内容要求，在对过滤网予以测验时，需求在过滤网的1.5分米的方位运用多点风速仪或是单点风速仪在网面之上合理的安置测验点，每一点的均值都应当是过滤网面的风速值。在施行检测作业的过程中，因为液晶显现面板洁净厂房的净高较高，测验作业的执行需求运用移动式升降机亦或是长杆的效果，执行检测作业，可是它的检测效率相对较差，一起高空作业也会具有必定程度的安全隐患，不只如此，遭到建造工期的约束和制约，测验作业量的巨大也会导致测验时刻相应的添加，如果想要在规则时刻之内完结检测使命，那么就会导致时刻过紧，此刻的产品投入到工艺运作出产之中，将会致使井字架或是升降机难以正常运行，风速测验作业的执行也会层层受阻。依据此，实践的测验作业执行之后，需求将其移动到技能夹层之内，运用电子式风量罩来对FFU风机侧进风予以检测，如果将其换位过滤网来完结风速值的测验作业，亦或是将风量罩之上设置相应的尺度，对过滤网的风速予以读出，想要使测验更为精准，可以通过对比试验的办法，来进步丈量的精准度和科学性，可在1.2米*1.2米的截面之上取四个点，与此一起，可以在FFU之上的风侧之上的技能夹层之中的风机侧，凭借风量罩来完结丈量使命，然后完结数据的读取，从初次的丈量数据读取过程中，可知风量罩以及多点风速仪的测验都会体现出必定的差错，这就显现了FFU风机丈量实践的进风量，此丈量办法具有必定的可行性。或可运用粒子技能办法来完结FFU走漏检测使命。粒子技能办法的施行，实践的影响要素主要有两个，其一为丈量用尘源，其二为上方尘源浓度。
期刊文章分类查询,尽在期刊图书馆依据尘源这一问题，现已有技能标准来对其予以标准，我国国内大多都运用人工尘源的办法，比方，有PAO、DEHS、DOP以及PSL等，而笔者通过剖析之后，以为洁净厂房关于洁净度的需求等级为ISO，以及五级混合流洁净室的FFU检走漏检测，所运用的大气尘源大多可以契合尘源检测的粒径或是浓度需求，一起人工尘源检测也具有较大的优势，体现出小批量出产中关于空气过滤器泄露检测的精准度，具有必定的稳定性，别的，检测时刻以及费用等也可以被承受。如果空气过滤器的数量较为巨大，那么，将会极端冗杂，不只费时吃力，一起它的实践可操作功能也极差，特别是遭到时刻本钱的影响，如若此刻运用大气尘作为尘源，此刻的丈量办法将会相对较为快捷，检测过程中，只是需 求在区域规划内引进必定的风量，一起可以在过滤器之上的方位施行取样测验，终究断定尘源的浓度，而其他的操作都应当在过滤网的下方来完结。结合相关的技能标准需求，应当对采样流量的规则内容，以及采样头的尺度以及速率等，保证标准为1200*1200的FFU测验时刻超出五分钟的规划，保证一个测验人员、测验的机器以及仪器设备等都可以契合丈量需求。
4温湿度测验
电子工业洁净厂房温湿度精度要求较高，温度精度一般为±0.5℃、湿度精度为±5%，相关标准标准对温湿度丈量点设置的要求有所不同，某一标准要求洁净室面积≤50m2时测点数为5，每添加20m2～50m2添加3点～5点。若依此核算5万m2的洁净区测点数应不少于5000点。笔者以为超大空间洁净区里温湿度参数十分均匀，操控体系正常运行时各点温差极小，加之工艺设备密集，如此数量的测点在有限的空间里根本无法布设；而ISO14644-3对温湿度测点的规则更具可操作性，相同面积洁净区测点数仅在500点以内，我们进行实践测验时经与用户洽谈，实践丈量点仅为150点左右均匀散布，测验结果表明可以准确反映洁净室内实在现状。
5超大面积洁净厂房的气流测验
超大面积洁净厂房的众多参数中气流流型十分重要，气流流型的杰出状况对洁净区的洁净度等级和温湿度有直接的影响。笔者参与的多个TFT-LCD面板制作洁净厂房大都要求气流夹角不超越14º，部分中心区域要求不超越8º。气流测验办法一般有示踪线法、示踪剂法和图像处理技能丈量法，其间示踪线法具有简便易行而被很多选用。现行“标准”中有的规则丈量点高度为0.8m或1.5m或丈量点之间约为2m～0.5m，这样的要求关于中小规划洁净室尚属可行，但笔者所触摸的超大面积洁净厂房的层高达7m以上，高大设备举目皆是，0.8m或1.5m高度大多状况下不能代表设备的关键操控点，业主也明确要求设备旁整个竖向空间截面临气流散布要求都是一样的，所以测验同行进行气流测验时选用轻质丝线从过滤器出风面高度悬挂，长度距地上1.5m左右，依据丝线长度和违背间隔丈量并核算实践夹角。超大面积洁净厂房根本都选用架空地板结构，通过地板孔洞完成下回风，因为很多工艺设备的安置，常常会呈现地板孔洞处的气流流向反向，即孔洞处有从下向上的气流，为防止呈现这一状况，气流流型测验时还要监测各洁净区域地板孔洞的气流流向，一般选用转轮式微风速仪进行监控丈量，转轮不回转即为正常。
6结语
关于单个洁净室面积大、空间高的超大面积洁净厂房，其功能参数的检测办法与中小型洁净室的检测存在必定差异，笔者在阅历了一些超大面积洁净室的检测实践，并学习学习国外同行的测验办法，对超大面积洁净室部分功能参数的检测探究选用一些有用的技巧、办法，在根本遵循国内外标准标准的要求和保证检测效果的前提下，进步检测作业效率、下降测验本钱，并提高可操作性，如对ISO5级至ISO7级洁净度等级的超大面积的洁净室中FFU装置后的检漏等，供我们参阅。
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论文作者:关世业
论文发表刊物:《基层建设》2018年第4期
论文发表时间:2018/5/22
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