刘广军[1]2007年在《音叉振动式微机械陀螺结构拓扑自组织设计方法的研究》文中研究指明微结构拓扑设计是结构设计中的难点和热点问题,也是结构设计领域的前沿研究方向。微结构拓扑设计是制约MEMS实用化的关键技术之一,设计和制作出高性能、高灵敏度的微器件结构是MEMS实用化的重要保证。从微结构拓扑出发,同时考虑其内部连接和工作环境,建立微器件高精度行为模型和结构拓扑优化设计方法,是MEMS性能设计和系统设计中的关键性难题。即在MEMS的微小尺度效应和复杂动力学机制下,存在微结构弹性变形同其输出性能(电信号)的高精度映射关系(微器件高精度行为模型)的难题,以及在追求高性能MEMS的评价下,其设计过程中结构拓扑的大自由变量度表征和大计算量(微器件结构拓扑优化设计方法)的难题。从解决此类高性能、高灵敏度微结构拓扑设计的关键性难题出发,本论文以一种体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象,提出基于元胞自动机的结构拓扑自组织设计方法。将灵活地表征具有大自由度、复杂动力学机制特征的、自下而上的自组织理论引入微机械陀螺结构拓扑设计中,以提高微机械陀螺的灵敏度和带宽等性能参数为出发点,对微机械陀螺的结构拓扑设计方法进行了系统而深入的研究:(1)基于微机械陀螺的简化模型,分析了音叉振动式微机械陀螺的基本工作原理、空气阻尼特性、驱动与检测方法以及弹性梁的设计。总结了微机械陀螺简化模型在其原理性概念设计中的优点和问题,提出了基于弹性理论的高性能、高灵敏度的微器件结构拓扑设计模型的必要性。(2)为提高设计和解析过程中微机械陀螺检测电容的计算精度,解决高精度微机械陀螺结构解析和优化过程中的计算时间问题,利用弹性理论和多自由度动态有限元解析理论,首次提出了微机械陀螺检测电容的子结构化解析模型,建立了微陀螺结构的弹性变形同其输出性能(电信号)的高精度映射关系,确立了微器件的高精度行为模型,在实现微机械陀螺的高精度解析和分析的基础上,完成了面向微机械陀螺最终输出性能/检测电容的动力学特性与检测特性分析;考虑到工作环境对微机械陀螺的影响不可忽视,采用热-力耦合分析的非线性有限元方法,分析了环境温度对微机械陀螺的固有频率、检测电容输出和带宽等性能参数的影响。(3)为提高微机械陀螺的灵敏度(输出性能)和带宽等性能参数,提出适用于表征大自由度微结构设计的自组织拓扑设计流程,将元胞自动机应用于具有大自由度、非线性、复杂性的微结构拓扑的自组织设计模型表达中。从微机械陀螺的实际结构和动态特性出发,构建微机械陀螺拓扑演化的间接规则,用于驱动结构的自组织演化过程;基于最终输出性能,提出微机械陀螺的性能评价方法。基于微机械陀螺的子结构模型,建立高灵敏度的子结构化的微器件结构拓扑设计模型,解决了拓扑优化中的时间和效率问题。以弹性梁的拓扑优化为算例,将微机械陀螺的自组织拓扑演化规则应用于弹性梁的拓扑演化过程中,实现了微机械陀螺的自组织拓扑优化,优化后的数值计算表明微机械陀螺的整体性能有了大幅度提高,同时保持了很高的品质因子。(4)为实际验证优化后微机械陀螺的性能,根据优化后的结果,进行了改进后微机械陀螺器件的制作、封装和测试。测试结果表明,改进后的微机械陀螺在灵敏度和带宽等性能方面均有了大幅提高,证明了本文提出的自组织设计方法的有效性。微机械陀螺的自组织拓扑设计方法提供了一种缩短实际微机械陀螺研制周期、实现微机械陀螺高效设计的有效途径。
王瑞荣[2]2011年在《静电驱动硅基介观压阻式微陀螺仪设计与相关陀螺测试》文中研究指明微机械陀螺仪由于其体积小、功耗低以及可靠性高等优点,而在惯性测量领域有着广泛的应用前景。共振隧穿器件是基于分子束外延(MBE)技术的新型介观压阻器件,其灵敏度比硅压阻灵敏度高约一个数量级,且受温度的影响较小。将其应用于微机械陀螺的研究本质上可提高陀螺的灵敏度。针对该隧穿器件的应用设计了一种结构新颖的陀螺,结合硅基异质外延砷化镓单晶薄膜技术,不但实现了高灵敏度隧穿器件在陀螺上的集成,而且可应用成熟硅微加工技术实现高深宽比陀螺结构的加工。论文在对微机械陀螺工作原理进行介绍的基础上,对微机械陀螺的动力学方程进行了分析。同时对静电驱动原理、介观压阻检测原理的相关理论进行了分析研究。提出了一种采用基于硅基—砷化镓材料的陀螺结构,其中陀螺结构采用硅材料加工,敏感元件采用砷化镓材料加工。通过大量的理论分析与仿真研究,确定了结构具体的尺寸参数。并对陀螺的固有频率、结构阻尼等进行了研究,验证了陀螺结构设计的合理性;通过路径分析确定了敏感元件的放置位置,以获得较高的灵敏度。通过对陀螺加工过程中关键工艺的详细说明以及与加工单位的协调研究,设计并确定了陀螺加工的具体工艺流程与加工版图,其中敏感元件的加工采用表面微加工技术,陀螺结构的加工采用体微加工技术。利用课题组所研究的成果,对一种电磁式介观压阻陀螺进行了性能测试,验证了陀螺敏感元件RTD具有负阻效应,另外也得到陀螺的驱动频率大于等于4KHz。利用三轴转台进行测试,在-1000—0°/s与0—1000°/s的角速度范围内陀螺的灵敏度分别为9.96μV/°/s和9.45μV/°/s。
余亮琴[3]2005年在《石英音叉微机械陀螺的微弱信号数字检测技术的仿真与系统误差研究》文中指出石英音叉微机械陀螺是一种新型的微机械振动角速度传感器,由于其具有成本低、尺寸小、可靠性高、寿命长,又能在恶劣环境中工作的独特优点,逐渐在军事运用和商业应用方面显示了广阔的前景,以微陀螺为核心部件的微惯性测量组合(MIMU)的发展也日益蓬勃。但是陀螺的精度却越来越适应不了更高要求的应用场合。针对石英音叉微陀螺的微弱信号检测技术,本文通过仿真表明:利用数字相关解调方法提取陀螺信号可以很好地提高检测精度。本文主要在压缩信号带宽提高信噪比和分析误差源以减小系统误差两个方面展开分析研究,主要内容如下:1.阐述陀螺的工作机理,说明压电效应的物理机制,根据电极优化配置的电场强度分布分析微观晶元的所受应力,说明了石英音叉各种振动模式的动力来源2.仿真分析微弱信号数字检测技术在提高信号检测精度方面的优越之处,验证其利用压缩带宽提高信噪比的方法在陀螺信号解调上的可行性;对不同数字滤波器进行性能比较优化选择3.详细分析了温度变化对谐振频率、机械品质因素等的影响,得到谐振频率随温度变化趋势曲线,指出补偿温度变化对稳定信号输出的重要性4.利用声卡设计实用的数据采集系统,将声卡实际采集的数据结合仿真程序进行数字相关解调分析,零位偏值过大,线性度也不够理想,因此要合理选取前置放大系数,信号中的非线性误差也需要进一步消除5.分析了导致陀螺系统产生零位偏值、零位漂移、相位偏移以及随机噪声的原因,具体分析了几种主要因素(如质心偏离、不正交等)产生的机械耦合对系统的影响本文的仿真分析充分表明数字相关解调可以有效提高微弱信号检测精度,将之应用于石英音叉陀螺的信号检测是切实可行的;系统误差源的分析也为今后改进加工工艺,进行系统优化设计奠定了基础和提供了方向指导。
郭慧芳[4]2008年在《三框架硅微机械陀螺的结构设计及加工工艺研究》文中研究指明通过调研和分析国内外硅微机械陀螺的发展状况,本文提出了一种三框架硅微机械陀螺结构。该结构解决了目前双框架硅微机械陀螺结构所存在的缺点,其具有较大耦合效应以及对加工工艺精度有很高的要求。在双框架结构中,由于加工工艺误差,使得带检测梳齿的敏感质量块两侧的梳齿尺寸不一,这样导致敏感质量块在伴随驱动模式运动的过程中将会产生两侧电容变化量无法抵消的问题,降低陀螺性能。论文提出的三框架硅微机械陀螺结构由外框架、中间框架和内框架组成。不带梳齿的中间框架作为感应哥氏效应的过渡框架,从结构本身有效地抑制了双框架陀螺的耦合对器件造成的不良影响。论文介绍了框架式硅微机械陀螺的工作原理,分析了静电力驱动,差分电容检测,阻尼以及支撑梁结构对微机械陀螺性能的影响,提出了三框架结构模型。在对该模型的简化示意图进行动力学分析和有限元仿真的基础上,确定了三框架硅微机械陀螺的结构及参数。考虑陀螺的加工成本以及目前国内现有的微结构加工工艺,我们选择了比较成熟简单的体硅加工工艺对其进行加工。根据加工单位的版图设计规则及体硅工艺标准,设计了该结构的版图及切实可行的工艺流程,最终完成了硅微机械陀螺仪的加工,并进行了简单的封装。文中还设计仿真了陀螺的接口电路,最后进行了初步的测试。
罗源源[5]2007年在《基于隧道效应的力平衡式MEMS陀螺仪设计研究》文中认为通过充分调研和详细分析目前国内外硅微机械陀螺的研究状况,当前绝大多数硅微机械陀螺仪采用电容式传感器检测陀螺仪输出信号,随着陀螺仪表结构尺寸极大缩小,传统电容检测技术的灵敏度和分辨率也大大降低,达到了检测的极限状态,检测输出信号的信噪比非常低,信号检测电路和处理电路极为复杂。针对此现象,本论文提出了利用电极间的隧道效应敏感陀螺输出位移的微小变化,该陀螺采用正交式悬臂梁结构,有效地抑制了机械耦合对器件造成的不良影响,其驱动、检测模态谐振频率的精确匹配保证了陀螺较高的灵敏度。论文首先介绍了隧道式微机械陀螺的设计理论基础,给出了微机械振动式陀螺的动力学方程,分析了陀螺的检测灵敏度和工作带宽,对微机械陀螺设计中所涉及的静电驱动和隧道电流检测给予了简单的介绍,对微机械运动中受到的空气阻尼问题进行了分析,并讨论了微机械陀螺中的寄生Coriolis力和轴向加速度对角速度检测的干扰等问题。提出了一种新型基于隧道电流检测的正交梁式陀螺仪结构,对陀螺的结构和工作原理进行了的分析,并系统分析了隧道陀螺的机械性能、结构阻尼、静电驱动力和机械耦合误差。通过理论计算和仿真分析提出了隧道式硅微机械陀螺的结构参数,最终得到具有较高灵敏度的隧道式硅微机械陀螺仪结构。本文结合加工单位的工艺特点,设计了切实可行的工艺流程,并进行版图设计,正在进行隧道陀螺仪的加工。最后,对隧道式硅微机械陀螺的反馈控制方法进行了研究,分析了目前常见的几种隧道电流检测反馈控制电路,并在此基础上对隧道电流检测方法进行了初步的研究。
李林[6]2006年在《差分式硅微机械陀螺的结构设计及闭环驱动研究》文中提出通过充分调研和详细分析目前国内外振动式硅微机械陀螺的研究状况,针对梳齿式线振动微机械陀螺存在机械耦合误差较大,无法同时具有较高带宽和灵敏度及器件品质因子较低等缺点,本论文提出一种同时具有较高带宽和灵敏度的差分式硅微机械陀螺,该陀螺采用双质量块结构抑制了机械耦合对器件造成的不良影响,其驱动、检测模态谐振频率的精确匹配保证了陀螺较高灵敏度,同时差分式结构设计使陀螺带宽得到明显提高;与此同时,对陀螺实现真空封装提高结构品质因子,进一步增强陀螺了灵敏度;最终提出新颖的直流增益控制方法实现对差分式硅微机械陀螺的闭环驱动。论文通过理论研究和仿真分析相结合的方式,对陀螺基本组成部件(电容器和支撑梁系统)进行了详细的分析研究,确定差分式硅微机械陀螺分别采用蟹型梁和折叠梁作为检测质量块和驱动质量块的支撑梁,同时采用静电驱动和梳齿电容检测的工作模式。提出差分式硅微机械陀螺结构,通过大量仿真分析和理论计算使陀螺驱动、检测模态谐振频率精确匹配,保证陀螺具有较高灵敏度;详细分析了差分式硅微机械陀螺的结构特点及工作原理,通过与具有较高灵敏度的陀螺结构进行比较分析,确定差分式硅微机械陀螺在相同灵敏度条件下可以同时获得较高带宽。采用高深宽比深度腐蚀(ICP RIE)表面加工工艺及真空封装技术,以提高陀螺灵敏度。同时提出采用与ASIC兼容的表面加工工艺实现对差分式硅微机械陀螺结构的加工。对差分式硅微机械陀螺结构提出直流自动增益控制的闭环驱动方法,并针对该方法设计出一种低噪声的直流自动增益闭环控制电路,实现陀螺闭环驱动。
陈宏[7]2008年在《全对称双级解耦微机械振动式陀螺研究》文中研究说明本文在建立全对称双级解耦微机械振动式陀螺理论模型的基础上,系统研究了器件的动力学特性。提出一种新颖的全对称双级解耦微机械振动式陀螺仪结构,利用体硅微机械加工技术实现了敏感结构芯片的制备,并进行了相应实验研究和特性测试工作。首先,工作带宽是微机械陀螺应用的一个重要指标,现有理论认为带宽和灵敏度是一对矛盾,将带宽简单定义为驱动频率与检测模态谐振频率之差。本文基于全对称双级解耦微机械振动式陀螺的理论模型,系统研究了器件的动力学特性,得出了工作带宽与频率匹配度以及检测模态品质因子有关的结论。当角速度的频率等于驱动模态与检测模态谐振频率之差时,灵敏度最大;保持驱动模态品质因子一定,改变检测模态品质因子Qy时,Qy存在一个临界值使检测方向峰值位移也满足3dB带宽的要求,大大扩展了陀螺的工作带宽。其次,提出了一种全对称双级解耦微机械振动式陀螺结构并利用体硅微机械加工技术制备了敏感结构芯片,该陀螺能实现模态频率匹配的同时降低模态之间的耦合。采用全对称结构,驱动模态和检测模态谐振频率容易匹配;双级解耦结构有效降低了驱动模态和检测模态之间的耦合;驱动梳齿和检测梳齿均采用滑膜阻尼结构,在常压下也能获得较高品质因子。考虑耦合弹性系数,建立器件的无阻尼自由振动模型以获得结构模态频率和振型。求解结果表明模态之间的耦合仅为1.56%,驱动和检测模态谐振频率均为2966.9Hz。应用ANSYS对微机械陀螺的模态频率进行了有限元求解,理论求解与有限元求解结果吻合较好。最后,基于对微机械陀螺动态特性的分析,设计了微陀螺开环检测接口电路。电路主要由C-V转换电路、高/低通滤波器、移相器以及相敏解调电路构成。采用所设计的开环检测微机械陀螺接口电路,对微机械陀螺模态特性、温度特性以及灵敏度等项目进行了测试。构建了显微镜测试平台对微机械陀螺非线性振动进行了测试。测试结果表明,驱动模态产生非线性振动时,谐振频率随振幅增大而增大。模态测试结果表明器件的频率匹配良好,谐振频率分布在2300Hz~2500Hz,与按照实际器件弹性梁宽度计算的谐振频率2774.7Hz较好吻合。温度特性测试表明随温度升高谐振频率和品质因子有所降低,但在不同的温度条件下模态频率仍匹配良好。在常压下测试微陀螺灵敏度为5.61mV/°/s,证实了该陀螺能在常压下工作。研究结果对全对称双级解耦微机械振动式陀螺的设计具有指导意义,为解决模态频率匹配、模态解耦以及避免真空封装等问题提供了一种解决方案。
管继平[8]2010年在《梳状音叉双线振动硅微机械陀螺仪的技术研究》文中认为目前广泛运用于惯性导航技术领域的传统机械式陀螺仪和光学式陀螺仪,虽然它们的精度高而且制造及运用技术成熟,但都有着体积大和重量大的缺点,极大地限制了它们在微型化场合的运用,与当前微型化发展潮流相悖。随着20世纪八九十年代MEMS技术的发展,一种利用MEMS加工技术开发的微机械陀螺仪得到了迅猛发展。微机械陀螺仪具有微型化、集成化、动态性能好、能耗低、易于数字化和智能化、可靠性高、寿命长等诸多优点,解决了传统机械式陀螺仪和光学式陀螺仪无法在微型化场合应用的难题,对惯性导航技术有极大的需求的商业和军事应用领域有着举足轻重的意义和价值。微机械陀螺仪的精度参数通常由漂移率和分辨率进行标定。虽然微机械陀螺仪微机械陀螺仪相对传统机械式陀螺仪和光学式陀螺仪有诸多优点,但目前国内外的研究机构开发出的绝大部分微机械陀螺仪漂移率和分辨率精度性能只达到了速率级别应用要求,限制了它们在需要高精度的惯性级别应用场合的使用。因此,提高微机械陀螺仪漂移率和分辨率性能成了国内外研发机构开发微机械陀螺仪的首要目标。为了解决微机械陀螺仪仪漂移率和分辨率精度性能低下的问题,本文在总结前人成果的基础上,特别是在美国佐治亚理工学院开发的一款微机械陀螺仪的基础上,开发出了一种梳状音叉双线振动微机械陀螺仪结构。该梳状音叉双线振动微机械陀螺仪结构采用了对称型双折叠梁作为弹性支撑梁,对结构的驱动模态和检测模态起到了解耦作用;同时,该结构对驱动梳齿采用了独特的隔离设计,能够极大的降低驱动信号对检测信号的正交干扰。通过解耦和隔离设计,可以极大的降低微机械陀螺仪正交误差,从而提高陀螺仪的漂移率精度。通过对弹性支撑梁的各个几何参数进行优化设计,该微机械陀螺仪具有高品质因素的良好特性,从而为提高陀螺仪的分辨率打下了基础。本文通过有限元分析软件ANSYS对梳状音叉双线振动微机械陀螺仪结构的设计方案的优越性进行了分析验证。通过解耦有限元分析,验证采用折叠梁设计使系统驱动模态和检测模态间的耦合作用降到了1.9%以下;通过隔离有限元分析,验证经过隔离设计以后,驱动信号对检测信号的正交干扰降到了未经隔离作用的2.5%以下。通过理论分析,并通过Matlab仿真,得到梳状音叉双线振动硅微陀螺仪品质因素可达51×105,该梳状音叉双线振动微机械陀螺仪有非常高的分辨率。本文设计的微机械陀螺仪性能优越,结构新颖,已经申请了国家专利。
陈雪萌[9]2005年在《一种压阻式微机械陀螺的研究》文中研究指明微机械陀螺是一种测量角速度或角位移的惯性传感器,具有体积小,可靠性高,价格便宜的优点,在汽车,电子和惯性导航领域有很大的潜力。微机械陀螺常见的检测方式有电容式和压阻式。与电容式陀螺相比,虽然压阻式陀螺的结构和接口电路比较简单,但是,比较低的灵敏度和压阻固有的温度效应极大地限制了它的应用。 本论文的主要工作是设计,制造,封装并测试了一种崭新的类音叉压阻式检测微机械陀螺。不但灵敏度比较高,而且能实现压阻系数的片上温度自补偿。陀螺采用静电驱动,压阻检测的工作方式,在大气下工作。用来检测Coriolis加速度的检测部分是悬臂梁—质量块结构的一种变形,用高强度的主悬臂梁保证机械强度和高谐振频率,极细小的微梁压阻检测Coriolis加速度引起的应力变化,并用微梁直拉直压理念优化微梁位置,获得高灵敏度。 利用一个压阻四端器件,开发了压阻系数温度效应的片上自补偿技术。温度补偿的方法是用驱动振幅的改变弥补温度变化对压阻系数的影响。温度补偿前的陀螺灵敏度温度系数是-0.235%,补偿后下降为-0.028%。 在制造过程中,采用先进的DRIE工艺。用普通硅片替代SOI硅片,实现了双面DRIE刻蚀,降低了工艺难度,简化了工艺步骤,显著降低了成本。 根据推导的压阻式陀螺的信号检测原理开发了一种简单的接口电路。陀螺的测试结果表明,陀螺的角速度灵敏度是21μv/°/s,噪声限制的角速度分辨率0.33°/s。陀螺检测部分两个加速度计的灵敏度分别为14.80mv/5V/g和14.49mv/5V/g,Q值分别是58和42,谐振频率分别是989Hz和990Hz。 本文开发的压阻式微机械陀螺具有进一步提高灵敏度的潜力,温度自补偿的设计极大的降低了压阻的温度效应。考虑到压阻式检测微机械陀螺比较简单的接口电路和比电容式检测具有更高的抗电磁干扰特性,本文开发的压阻式陀螺存在着广阔的实用前景。
陈垚[10]2000年在《微机械陀螺的材料及器件设计研究》文中进行了进一步梳理本论文“微机械陀螺的材料和器件设计研究”主要围绕两个方面开展工作。 第一方面是中美合作项目“用于微传感器和微驱动器的电铸材料和电铸技 术”。选定Fe－Ni合金作为电铸材料，并就其电镀工艺、电镀材料性能及电铸 技术三方面进行了研究。 通过大量实验证实，Fe－Ni合金电镀可分为正常共沉积区、异常共沉积区和 液相传质控制区。电镀液浓度、温度、pH值、电流密度、搅拌方式等各种操作 条件的细微变化都能导致镀层组份改变。在优化电镀工艺规范的基础上，本文 创造性地提出了一种精确控制Fe－Ni镀层组份的方法，使镀层组份正比于电镀 液组份，电镀质量稳定，重复性好。 结合Si体微机械技术和电镀技术加工出一种新颖的Fe－Ni／Cu／Si复合悬臂 梁。在10-2Torr气压下，利用共振法测出Fe－Ni（Fe64％，Ni36％）沉积膜的内耗为 10-3。这是第一次有关Fe－Ni电镀沉积膜的内耗数据报导。利用X射线平移法研 究了Fe－Ni沉积膜内应力的变化规律。内应力在因瓦合金（Fe64％，Ni36％）成分附 近达到最大约300MPa。利用实验室研制的微力／微位移天平法，测出Fe－ Ni（Fe57％，Ni43％）／Cu／Si复合悬臂梁的杨氏模量为1．0×10(11)N／m2。利用X射线法 研究了Fe－Ni合金在不同组份的热膨胀特性和晶相组成。结果显示，电镀Fe－Ni 合金的热膨胀系数同体材料的变化趋势一致，在因瓦合金成分附近达到最小， 其值高于相应成分的合金体材料，约 6×10-6／℃。 通过优化涂胶、曝光、显影等工艺，制备出形貌良好，厚度达30μm的厚 胶胶模，实现了正型厚胶光刻工艺的突破。采用自对准的准LIGA技术制成Fe－Ni 合金微结构。当线条宽10－15μm，厚30μm，长度短于600μm时，释放后的电 铸Fe－Ni微结构不变形，并与衬底保持平直，铸件侧壁陡直。但铸件表面的平 整度和光洁度还需要进一步改进，这有赖于进一步完善精密电铸系统。 第二方面是利用DRIE技术制作体硅微机械陀螺。 在对双框架陀螺和梳状陀螺进行比较后，创造性地提出了一种简单而新颖 的振子－框架式微机械陀螺。陀螺利用梳状叉指的侧向静电线驱动获得较大的 驱动振幅，同时由于叉指结构是用深RIE技术刻蚀出来的，其厚度的增加可以 中国科学院博士学位论文 进一步增大驱动振幅，提高灵敏度。陀螺检测端借鉴了双框架陀螺，利用内框 架和衬底之间较小的压膜阻尼效应，提高陀螺检测端的机械品质因子，增大了 陀螺的灵敏度。在分析陀螺的传输特性、阻尼特性和驱动方式的基础上，对陀 螺的各部分结构尺寸进行了优化，提高了驱动和检测的频率匹配度，减小了检 测端对驱动端的机械耦合。设计陀螺制作的工艺流程，并就工艺过程中出现的 各种问题和难点进行了分析。目前，工艺除DAlE一步外基本走通，进一步的 工作尚待以后继续。
参考文献：
[1]. 音叉振动式微机械陀螺结构拓扑自组织设计方法的研究[D]. 刘广军. 上海交通大学. 2007
[2]. 静电驱动硅基介观压阻式微陀螺仪设计与相关陀螺测试[D]. 王瑞荣. 中北大学. 2011
[3]. 石英音叉微机械陀螺的微弱信号数字检测技术的仿真与系统误差研究[D]. 余亮琴. 国防科学技术大学. 2005
[4]. 三框架硅微机械陀螺的结构设计及加工工艺研究[D]. 郭慧芳. 中北大学. 2008
[5]. 基于隧道效应的力平衡式MEMS陀螺仪设计研究[D]. 罗源源. 中北大学. 2007
[6]. 差分式硅微机械陀螺的结构设计及闭环驱动研究[D]. 李林. 中北大学. 2006
[7]. 全对称双级解耦微机械振动式陀螺研究[D]. 陈宏. 哈尔滨工业大学. 2008
[8]. 梳状音叉双线振动硅微机械陀螺仪的技术研究[D]. 管继平. 电子科技大学. 2010
[9]. 一种压阻式微机械陀螺的研究[D]. 陈雪萌. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）. 2005
[10]. 微机械陀螺的材料及器件设计研究[D]. 陈垚. 中国科学院上海冶金研究所. 2000
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