李迎春[1]2004年在《双波长移相干涉术的研究》文中研究指明移相干涉术是一种高精度的测试技术。传统的单波长移相干涉术存在测量范围小的缺点。双波长技术是扩大移相干涉术测量范围的有效途径。其最大的优点是(1)测试范围大;(2)测试精度高。 分析了移相干涉术的几种相移误差不敏感算法和干涉图有效区域的确定,采用迭代重构滤波技术与相位展开相结合的技术处理带有大量噪声的干涉图的相位展开问题。针对移相干涉术中的一个主要误差源一移相器的标定误差,分别采用了两种不同的标定方法,创新地提出了阻尼最小二乘技术在移相器标定中的应用。实验表明,该方法适合移相器的在线精确标定。系统分析了双波长移相干涉算法,并进行了模拟验证。针对其误差放大效应,采用误差补偿技术,使得双波长达到了与单波长同样的测试精度。对每一种算法均采用C++语言编写了实用的程序。搭建了双波长移相干涉术的实验平台,获得了实验数据,达到了预期的效果。结果表明,双波长移相干涉术可作为测试面形误差较大的被测件的一种实用方法。
苏俊宏[2]2003年在《双波长激光干涉移相式测量长度技术研究》文中指出研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法。对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到表征其表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果。
葛爱明, 陈进榜, 陈磊, 朱日宏, 严家骅[3]2002年在《应用移相干涉术测量量块长度和长度变动量》文中进行了进一步梳理研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法。对于干涉图像进行多幅图的采样 ,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形 ,着重研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术 ,得到一幅表征它们表面的离散波差值 ,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果。
苏俊宏[4]2003年在《移相干涉术用于测量长度方法研究》文中指出研究了应用移相干涉术测量新的1等量块的方法.对于干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到一组表征它们表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果.
参考文献:
[1]. 双波长移相干涉术的研究[D]. 李迎春. 南京理工大学. 2004
[2]. 双波长激光干涉移相式测量长度技术研究[J]. 苏俊宏. 红外与激光工程. 2003
[3]. 应用移相干涉术测量量块长度和长度变动量[J]. 葛爱明, 陈进榜, 陈磊, 朱日宏, 严家骅. 光学学报. 2002
[4]. 移相干涉术用于测量长度方法研究[J]. 苏俊宏. 西安工业学院学报. 2003