康念辉[1]2004年在《大中型非球面磨削成型的理论与实验研究》文中研究指明现代光学技术的发展使得非球面光学元件在光学系统中被广泛应用,而大型非球面镜的加工更是折射出一个国家的综合科技实力。非球面磨削成型作为大型非球面加工的一个不可或缺的阶段,其加工精度与表面质量直接影响到非球面加工的总体效率。本文基于自研AOCMT光学加工机床,针对非球面磨削成型阶段的理论与工艺做了研究。主要内容与创新点如下: 1.介绍了非球面磨削成型的常用加工方式,给出了非球面磨削成型的统一数学模型;针对轴对称非球面和离轴非球面建立了磨削的具体几何模型,并通过实验验证了模型的正确性;分析了非球面磨削成型过程中的残留误差,推导了避免过切的数学条件。 2.介绍了非球面复合加工机床AOCMT,给出了其各项指标;基于AOCMT运用多体系统理论分析了所有几何误差对于工件面形误差的影响,建立了统一的数学模型;针对主要误差源建立实用的误差模型,计算出它们对面形误差的传递函数,并进行了仿真研究。 3.研究了非球面在位测量的方法,阐述了形位误差评定的国内外研究现状,介绍了形位误差评定软件WLEE;介绍了采用软件误差补偿时数控指令的两种修正方法并将其用于非球面的补偿加工,推导了补偿的数学模型并分别进行了实验验证,估计出补偿加工合适的加权系数。 4.基于非球面磨削成型的加工特点,总结了选择合适的砂轮以及加工参数的办法;给出了非球面磨削的工艺流程;解决非球面磨削成型阶段砂轮的对刀问题;探讨影响非球面磨削加工精度的其他因素,并进行了实验验证。
殷龙海[2]2015年在《大中型SiC非球面反射镜确定性高效加工工艺的研究》文中认为大中型非球面反射镜在地面望远光学系统和空间对地侦查光学系统中广泛应用,需求量日益增加,大中型非球面的加工要求已经从过去的可以加工改变为现在能够快速确定性高效加工。本文以大中型非球面确定性高效加工为出发点,对大中型非球面加工的铣磨阶段和抛光阶段的确定性高效加工方式进行研究。作者结合国家工程任务需求和自身工作需要开展了大中型Si C非球面反射镜确定性高效加工的研究,论文主要完成的工作有:1.超声复合磨削确定性高效加工的研究:分析了超声复合磨削的机理,从原理上证明超声复合磨削的高效性。对金刚石砂轮种类进行分析确定适合Si C反射镜超声复合磨削叁阶段加工的金刚石砂轮并进行设计。通过磨削实验确定超声复合磨削Si C材料的各项磨削工艺参数并进行优化,建立了超声复合磨削Si C材料工艺参数数据库。对超声主轴和刀柄进行分析,通过磨削工艺实验证明超声复合磨削的高效性。2.大中型Si C非球面反射镜超声复合确定性磨削的研究:采用系数法和逆向工程法建立非球面高精度模型,根据模型进行加工仿真和刀轴路径规划。在Si C反射镜超声复合磨削加工的过程中利用激光跟踪仪进行在线检测,降低了风险,提高了磨削效率和磨削精度。对工程用Ф800mm Si C非球面反射镜进行超声复合确定性磨削并进行在线检测,磨削效率提高30%以上,磨削精度达到PV值11.2μm,RMS值1.8μm。3.磁介质辅助抛光的研究:设计完成了轮式磁介质辅助抛光模块并进行优化设计,可以直接应用于主轴为BT40锥柄的加工中心。对磁介质辅助抛光工艺参数进行优化,确定了改性Si磁介质辅助抛光的最优工艺参数。轮式磁介质辅助抛光对Φ150mm改性Si平面镜进行确定性抛光实验,最终结果达到PV0.107λ、RMS0.23λ(λ=0.6328μm)。磁介质辅助抛光的研究为磁流变抛光的研究打下良好的基础。4.球形轮式磁流变抛光系统设计和机床设计分析:采用模块化设计理念设计完成了磁流变抛光系统的抛光机构模块和磁流变液循环模块,并对球形轮进行分析。确定了磁流变抛光对机床的性能参数要求,并根据要求对立式加工中心进行重新改造设计和分析。采用千分表找正的方法对球形磁流变抛光去除函数中心进行精密定标,提高了磁流变抛光的确定性。改造完成的立式磁流变数控抛光机床抛光口径Φ400mm的改性Si离轴凸非球面,经过一个周期12小时的磁流变抛光,非球面精度由抛光前的PV0.614λ、RMS0.099λ收敛至PV0.201λ、RMS0.025λ。本文的研究工作提高了大中型Si C非球面反射镜磨削加工效率和非球面磨削精度,减少了后续研磨加工的时间;磁流变抛光的高确定性使改性后的大中型Si C非球面反射镜的抛光效率有了明显提高。
王少雷[3]2017年在《变定位基圆平面包络磨削凸曲面工件加工方法研究》文中指出硬脆材料大型非球曲面元件以其优异的光学性能广泛应用于武器装备系统、科学仪器设备之中,是这些系统中起到支撑作用的关键部件,其加工制造技术已成为现代制造研究领域不可或缺的重要内容。硬脆材料大型非球曲面元件的加工通常包括镜坯成型、轻量化、磨削成型、研磨、抛光等多个环节,加工效率低,其中,研抛阶段效率远低于磨削,研抛过程反复的加工与检测使加工周期变长,因此,研究人员都希望尽量在磨削阶段多去除材料,并能获得较高的加工精度和表面质量,以减少研抛耗时。本课题从磨削加工方法入手,围绕着降低砂轮磨损、提高加工精度和加工效率这一目标,提出变定位基圆平面包络磨削加工自由凸曲面方法,此磨削法将杯形砂轮端面磨粒以端面圆心为中心划分为多个环带,通过控制杯形砂轮运动,有规律地让不同环带的磨粒参与磨削,同时使端面在加工中同工件曲面保持相切接触,沿着磨削轨迹将工件曲面包络成型。这种方法一方面可优化磨削轨迹,扩大轨迹行宽,提高磨削效率;另一方面可避免或减少砂轮磨损对加工精度的影响,增大砂轮有效使用面积,提高砂轮寿命。围绕这些内容,主要开展了以下工作:1.研究杯形砂轮端平面上分布在不同环带磨粒的磨耗规律。设计试验测定砂轮端面环带的磨耗规律,最终得到结论:砂轮端面环带的磨损受砂轮主轴向下进给速度的影响最显着,速度越大磨损越快;其次受到砂轮转速影响,砂轮转速越高,端面磨耗越慢。2.磨削轨迹规划是数控曲面加工的一个重要环节,直接影响到加工效率。本课题针对杯形砂轮端平面包络磨削凸曲面时,砂轮运动姿态及工件凸曲面的几何特性,提出了平面包络等残留高度轨迹算法。首先从微分几何学角度描述了平面包络磨削凸曲面这一物理过程,建立了平面包络曲面的向量方程,给出了等残留高度线的算法,证明了一个关于等残留高度曲线切向量的微分几何关系,以此为基础,构建了所提出的轨迹规划方法,通过对比分析和仿真计算,证明此轨迹规划方法在保证加工残留高度的前提下,可大大减少砂轮走刀轨迹,扩大磨削行宽,能显着提高加工效率。3.杯形砂轮端面磨削主要用于平面磨削中,本课题将其应用于曲面磨削加工,在新的加工应用场景下,尤其是同五轴数控加工技术结合时,五轴数控插补过程中所固有的非线性误差出现了新的形式。在研究过程中结合砂轮端平面的几何特点,对插补过程中出现的非线性误差分两种情况进行了分析,一种是机床数控系统具有RTCP功能,另一种是不具有RTCP功能,得到了两种情况下非线性误差的形成过程、出现的位置、分布规律和误差计算式,并通过实验验证了误差计算式的正确性。在RTCP功能模式下,非线性误差小于轨迹离散产生的弓高误差,加工中可忽略;在无RTCP功能的加工模式下,非线性误差远大于轨迹离散产生的弓高误差,最大误差出现在砂轮和工件曲面切触点的下方,进而提出密化刀位点的方法来控制非线性误差。4.基于上述试验和计算分析,实施变定位基圆平面包络磨削加工凸曲面实验,对实验数据进行对比分析,证明该磨削加工方法对提高加工精度有益,能扩大砂轮的有效使用面积,可有效减少磨削过程中砂轮磨损对加工精度的影响。
王宇[4]2011年在《基于B轴控制的微小非球面超精密固定点车削与磨削研究》文中研究指明近年来，随着高性能的非球面光学仪器在航空航天、光学、电子及军用武器装备等领域的广泛应用，对于微小口径非球面光学零件的需求越来越大，客户对其制造精度的要求越来越高，如何获得高性能的小型光学透镜成为光学系统设计和制造的重点和难点。而随着非球面注塑与玻璃模压技术的日益成熟，微小口径非球面光学零件的大批量生产也成为现实，对应模具的制造则主要依靠超精密车削和磨削技术。因此，对于微小口径非球面光学零件的超精密车削与磨削技术研究就具有更为重要的理论意义和现实指导意义。首先对国内外非球面超精密加工技术及设备现状进行了综述性介绍，探讨了目前的微小口径超精密车削与磨削技术存在的问题，进而提出了相应的解决方法。接着在传统的两轴联动非球面超精密车削与磨削技术的基础上，研究了基于B轴控制的固定点金刚石车削技术和固定点磨削技术，建立了形状误差预测的数学模型，分析了对工件形状精度、表面粗糙度以及刀具磨损的影响规律。介绍了几种常见的非球面超精密加工的检测技术，探讨了接触式测头结合激光干涉测量原理进行在位测量的方法，针对接触式气浮在位测量原理，提出了一种消除接触式测量过程中测头曲率半径误差对形状精度测量影响的方法。然后分析了非球面车削与磨削加工中的误差来源，研究了X、Y轴方向偏心误差的影响。并探讨了各种误差补偿原理，包括X、Y轴方向的偏心误差补偿、刀具误差补偿，以及通过最小二乘算法的多项式拟合对形状误差的补偿。针对红铜、铝、单晶硅和红外卤硫玻璃材料，进行平面、凹球面、凹小非球面和凸非球面的X、Z两轴联动车削与X、Z、B叁轴联动车削工艺对比试验，着重研究和分析了两种车削加工方式对工件形状误差、表面加工质量、补偿工艺等方面的影响。研究了适用于固定点磨削的砂轮修整技术，介绍了砂轮与B轴的对心原理。针对碳化钨和单晶硅材料，进行凹球面、凹小非球面和凸非球面的X、Z两轴联动磨削与X、Z、B叁轴联动磨削工艺对比试验，着重研究和分析了两种磨削加工方式对工件形状误差、表面加工质量、补偿工艺等方面的影响。通过上述实验研究，验证了基于B轴控制的叁轴联动加工方式可以提高非球面工件的加工精度。
吕寻可[5]2013年在《大口径光学非球面超精密磨削机床结构设计》文中指出非球面光学元件随着现代光学系统的飞速发展得到广泛的应用,而是否拥有能加工制造符合人们需要的非球面光学元件的机床又是问题的关键所在。本文在系统的总结分析了国内外非球面超精密磨削机床发展现状基础上,研制了一台磨削精度不大于4μm的大口径光学非球面超精密磨削机床。文中首先介绍了加工非球面零件的几种常用方法的数学磨削,然后建立了金刚石砂轮包络法磨削加工非球面零件的数学模型,并以此对机床进行布局设计。根据非球面磨削几何模型,找出了影响加工精度的误差源,对机床各传动部件进行精度分配。利用solidworks软件对机床床身、主轴和砂轮轴轴系进行叁维建模,并用Ansys软件对磨床床身、砂轮轴和主轴进行固有频率仿真分析。机床完成装配后对机床各传动部件进行精度检测,检测结果表明传动部件的各项精度达到设计要求,能满足光学非球面零件的加工需要。
朱科军[6]2013年在《光学玻璃透镜模压成形的数值仿真和实验研究》文中指出随着相机、摄像机等电子产品需求的增长,小口径非球面玻璃透镜由于其优良的光学性能而备受关注。传统的磨削和研磨等去除方式,只能逐个加工,效率低下。模压成形技术能在高温高压条件下直接将玻璃预形体压制成最终形状,容易实现批量生产。因此,它是一种更有应用前途的替代方法。在目前的玻璃透镜模压成形生产中,存在两个主要难题:1)预形体玻璃在模压成形过程中容易产生较大的应力,导致成形透镜在脱模时可能破裂,从而影响模压成形的良品率,也降低成形透镜的使用寿命和光学性能;2)成形透镜的最终轮廓形状与原始设计形状之间往往存在偏差,虽然通过多次反复试模可以提高成形透镜的质量,但费时费力。为了减小成形透镜的残余应力,本文建立了多工位模压成形工艺的数值仿真模型,研究模压成形过程中各阶段工艺参数对残余应力的影响。提出了模压速率分段控制的新方法,可有效减小模压阶段结束后的最大残余应力。为了提高成形透镜的形状精度,首先建立数值仿真模型并对成形透镜的轮廓偏移量进行预测,并研究了模压成形工艺参数对轮廓偏移量的影响。在此基础上,提出了基于节点几何修正原理和曲线拟合技术的模压成形补偿新方法。本文主要研究工作如下:1.针对多工位光学玻璃透镜精密模压工艺,基于广义麦克斯韦模型分别建立了叁步加热、模压速率分段控制、叁步退火的数值仿真模型,对模压成形过程中各阶段工艺参数与应力的关系进行有限元分析,并与传统的单工位模压成形工艺进行对比。在分析模压阶段应力变化规律的基础上,以模压速率为研究对象,研究不同时间段模压速率对最大应力的影响。2.基于结构松弛模型,建立数值仿真模型对成形透镜的轮廓偏移量进行预测,采用单因子法分析模压成形参数与轮廓偏移量之间的关系。由于采用“试错法”直接修复模具费时费力,本文提出了基于节点几何修正原理和曲线拟合技术的模压成形补偿新方法:采用“试错法”先对仿真模型中的模具轮廓曲线进行修正,直至成形透镜的形状精度达到设计要求后,再根据得到的模具修正曲线来加工模具。3.采用基于B轴控制固定点斜轴磨削技术,制造出模压成形用的高精度非球面模具。以球状DZK-3玻璃为预形体,在多工位模压成形机床上进行模压成形实验,确定了合适模压温度的选择范围,模压成形出非球面玻璃透镜。然后,对成形透镜的轮廓偏移进行测量,并与仿真结果进行对比,验证了仿真预测模型的有效性。4.在多工位模压成形机床上进行双凸球面透镜的模压成形实验,通过数值仿真与成形实验相结合的方式分析了曲率改变量对透镜轮廓偏移量的影响。实验结果显示:上表面的轮廓偏移量比下表面大,实验结果与仿真结果相近,进一步验证了仿真模型的有效性。
叶斯哲[7]2013年在《非球面数控抛光工艺参数与加工精度的关系研究》文中研究说明通过对K9、ZF7平凸非球面透镜加工工艺的研究,提出了全口径柔性抛光结合小磨头修正抛光的试验方案。通过实验引入铣磨补偿量来抵消全口径抛光带来的面型误差,并分别对铣磨和抛光比较突出的工艺参数进行单因素试验,讨论它们与在型精度以及表面质量的关系。其中包括磨轮对刀误差、直径误差的修正,磨轮转速、进给量的选择,抛光磨头尺寸、抛光压力的选择等。优化工艺流程后抛光的元件面型精度PV值)0.49um,表面光洁度60-40,达到中等精度要求。总结出一套效率高,成本低,重复性好的数控研抛非球而方法,可实现中小口径非球面元件快速加工。
李山[8]2013年在《光学非球面超精密磨削中微振动对磨削质量的影响研究》文中提出本文对大中型光学非球面超精密磨削加工进行了研究,建立了叁轴数控联动非球面磨削加工数学模型,对磨削加工工艺进行了优化,建立了砂轮均匀磨损非球面的几何模型。分析了磨床轴的转动特性以及液体静压轴承的转动特性,阐述了磨削加工过程中砂轮轴轴系和主轴轴系微振动产生的机理,系统分析了非球面超精密磨削加工中砂轮轴和主轴的微振动对非球面面形精度的影响,建立了微振动对磨削非球面面形精度影响的数学模型。利用CATIA软件建立了非球面超精密磨床的叁维模型,并用Workbench软件对砂轮轴、主轴、砂轮轴轴系、主轴轴系进行了动力学仿真分析；利用振动特性测试装置,通过对机床不同位置施加激振力,进行了磨床振动特性试验；利用激光位移测量装置,设计了微振动测量装置,通过对不同转速和液体静压轴承不同压力引起砂轮轴系和主轴轴系的径向微振动和轴向微振动位移的测量结果分析,确定了该磨床砂轮轴和主轴的转速及静压轴承油压引起微振动的规律,给出了该磨床加工非球面的最优的加工工艺参数范围。
周旭光[9]2013年在《非球面轨迹包络磨削加工机理研究》文中研究说明随着微电子、光电子、太阳能光伏技术的发展以及光学与电子学的融合及国内外市场竞争的日趋激烈,以非球面光学元件为代表的先进技术日益成为一个国家制造实力的重要体现,发展新的非球面加工技术,提高加工精度和效率,降低加工成本是不懈追求的目标。非球面轨迹包络磨削法可减少对设备精度要求,从理论上大幅减少了砂轮磨损,可以实现非球面光学元件的超精密加工。发展非球面轨迹包络磨削法,深入进行相关加工工艺研究,符合我国发展需求,能迅速提高我国非球面超精密加工水平。但是目前的非球面轨迹包络磨削法仍然存在砂轮磨损不均匀、加工表面粗糙度不均匀等问题,限制了其应用。本文针对轨迹包络磨削过程中存在的问题,对轨迹包络磨削机理进行了深入研究。主要内容如下：根据非球面轨迹包络磨削成形原理,分析了圆弧回转面砂轮的结构、磨削过程中磨削点顺次移动提高磨粒有效利用过程,研究了轴对称非球面、非轴对称非球面加工中磨削方式、砂轮直径、砂轮宽度、砂轮端部圆弧半径等因素对轨迹包络磨削过程的影响。建立了非球面轨迹包络磨削中磨削点的运动模型,通过建立圆弧回转面砂轮磨削点与加工曲面位置关系数学方程,提出了非球面磨削点绕砂轮端部圆弧圆心运动的角速度概念,得出了圆弧轨迹包络磨削加工中磨削点的运动角速度方程,并推导出非球面轨迹包络磨削点的线速度方程式,分析了非球面曲率半径、砂轮端部圆弧半径、非球面二次曲线形状参数等磨削点线速度的影响,为优化砂轮磨削加工参数,实现砂轮均匀磨损提供理论基础。基于非球面磨削点速度计算,建立了描述单位时间内轴对称非球面磨削量的数学模型,通过分段进给,控制砂轮进给速度,实现轴对称非球面恒去除量磨削。实验证明恒去除量磨削可以基本实现砂轮的均匀磨损。提出单位时间砂轮去除量和参与磨削的砂轮的面积之比λ,它可以作为影响圆弧回转面砂轮均匀磨损的特征值。理论分析表明：λ与砂轮端部圆弧半径、非球面二次曲线顶点曲率半径、非球面二次曲线的形状参数以及磨削的坐标等有关,磨削实验结果与理论分析一致。建立圆弧回转面砂轮形状误差数学模型,分析了砂轮修整过程中砂轮对刀误差、砂轮半径、砂轮端部圆弧半径对砂轮修整误差的影响。建立轴对称非球面砂轮磨削对刀误差数学模型,得到存在对刀误差时的轴对称非球面子午截面磨削曲线方程,分析不同方向对刀误差对轴对称非球面形状精度的影响,结果表明,砂轮对刀出现误差影响轴对称轴对称非球面的母线形状和位置。分析圆弧回转面砂轮与被加工非球面接触弧长的基础上研究非球面零件轨迹包络磨削过程中磨削力的规律,结果表明非球面轨迹包络磨削过程中磨削力数值较小磨削力随磨削点位置变化幅度有限,砂轮的种类、性能等因素对磨削力有较大影响。通过对非球面轨迹包络磨削表面形成过程的分析,建立了轴对称、非轴对称非球面表面残留高度数学模型,分析了非球面曲率半径、砂轮端部圆弧半径、砂轮进给速度对非球面残留高度的影响。结果表明通过改变砂轮进给速度,控制砂轮移动间隔,可以改变磨削表面粗糙度,改善非球面磨削表面粗糙度均匀性。通过对非球面轨迹包络磨削机理的研究,提出了兼顾表面粗糙度和面形精度的非球面轨迹包络磨削加工新工艺。在轴对称非球面磨削中可以采用恒去除量磨削粗磨,等残留高度和等λ值精磨；在非轴对称非球面磨削中,可以采用等残留高度磨削,等λ值磨削。
王贵林[10]2002年在《SiC光学材料超精密研抛关键技术研究》文中提出空间光学系统的快速发展，对光学零件的轻量化提出了严格要求。与传统光学材料相比，SiC的比刚度最大，在尺寸相同的条件下，其轻量化程度最高；此外，它还具有热变形系数小、光学性能好、各向同性、无毒、能够实现复杂形状的近净尺寸成型等优点，因而成为空间反射镜的首选材料。 作为一种多相陶瓷，SiC的材质既硬且脆，加工难度很大；从已见报道的SiC反射镜来看，其面形精度尚不能满足高精度光学系统的成像要求，这使得它在应用中受到限制；因此，探索SiC材料的加工工艺性是目前亟待解决的关键问题之一。本文以JM030.2型平面研抛机和自研的光学非球面复合加工机床为对象，对研抛过程中SiC材料的去除特点及影响因素进行研究，在此基础上建立确定量研抛的数学模型。主要内容和创新点包括： 1、根据平面研抛的成形原理和材料去除特点，建立了工件表面相对运动轨迹的数学模型，给出了不同偏心条件下加工区域的平均压强分布形式；在SiC工件的平面研抛实验中，通过选择合适的加工条件和对工艺参数进行调整，能够实现表面材料的均匀去除，获得理想的工件面形，同时也为非球面确定量研抛提供工艺指导。 2、针对计算机控制光学表面成形(CCOS)的加工方式、误差收敛特点，研制了去除函数呈高斯分布的双转子结构研抛模；采用脉冲迭代法、平滑因子傅立叶变换法推导出驻留时间的算法，求解过程中根据工件面形的特点作了各种形式的简化；提出了工件表面和研抛模的吻合误差与局部压强、材料去除率、收敛比之间内在关系的数学模型，并推导出相应的计算公式；分析了边缘效应产生的原因，在加工过程中采用相对压力因子对去除函数进行修正，可以消除边缘效应的影响。 3、研制了集铣磨成型、研磨、抛光于一体的光学非球面复合加工机床(AOCMT)，分析了各种运动误差对铣磨精度的影响；根据空间齐次坐标的变换模型，推导出多轴数控加工的后置处理算法；通过五轴数控联动，AOCMT机床能够以法向方式加工出任意复杂的光学表面，铣磨精度稳定在8μm之内。 4、提出了根据不同成分面形误差的分布特征、进给步距、收敛比和吻合特性要求，确定研抛盘尺寸的新方法；对CCOS加工中研抛模运动路径的规划进行了深入研究，并给出了相应的工艺流程和技术规范。 5、磁流变抛光(MRF)是超光滑光学表面的一种新型加工技术，本文从MRF的磁、力学性质出发，研究了磁流液的稳定性、流变效应、链化结构和连续介质模型；根据抛光区内剪应力、正压力的分布特征，提出了MRF的定量加工模型；然后以平面工件的磁流变抛光为例，揭示了工艺参数对材料去除率和表面粗糙度的影响规律。
参考文献：
[1]. 大中型非球面磨削成型的理论与实验研究[D]. 康念辉. 国防科学技术大学. 2004
[2]. 大中型SiC非球面反射镜确定性高效加工工艺的研究[D]. 殷龙海. 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所). 2015
[3]. 变定位基圆平面包络磨削凸曲面工件加工方法研究[D]. 王少雷. 天津大学. 2017
[4]. 基于B轴控制的微小非球面超精密固定点车削与磨削研究[D]. 王宇. 湖南大学. 2011
[5]. 大口径光学非球面超精密磨削机床结构设计[D]. 吕寻可. 长春理工大学. 2013
[6]. 光学玻璃透镜模压成形的数值仿真和实验研究[D]. 朱科军. 湖南大学. 2013
[7]. 非球面数控抛光工艺参数与加工精度的关系研究[D]. 叶斯哲. 长春理工大学. 2013
[8]. 光学非球面超精密磨削中微振动对磨削质量的影响研究[D]. 李山. 长春理工大学. 2013
[9]. 非球面轨迹包络磨削加工机理研究[D]. 周旭光. 广东工业大学. 2013
[10]. SiC光学材料超精密研抛关键技术研究[D]. 王贵林. 中国人民解放军国防科学技术大学. 2002
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