吴子明[1]2003年在《主动抗振技术研究——单点探测与PZT补偿》文中指出光干涉测试是一种高精度的测试，极易受外界振动影响，为解决光干涉测试中的振动问题，本文首先介绍了国内外干涉仪抗振技术的发展情况，比较了几种常用方案的优缺点，在大量实验基础上，本着工程化的目的，提出了以压电陶瓷移相器(PZT)为补偿元件的单点式相位探测抗振方案。即采用单个光电二极管实时测量干涉条纹相位并由PZT实时补偿因振动引起的干涉条纹的相位变化。文中详细讨论了用于单点式抗振方案的电路设计及DSP的程序编制，并对系统频响的瓶颈——PZT移相器的机械结构和驱动电源作了改进，使其频响及线性度大大提高，从而整体上提高了抗振的效果。在泰曼-格林干涉仪上进行光、电、及计算机联机调试，比较了各种振动条件下和没有振动下的干涉仪测量结果。实验表明在50HZ·λ以下的振动条件下，干涉仪能进行正常移相测量，且结果稳定可靠。本方案对干涉条纹形状没有要求，成本低、易工程化、适应性强，是一种相对来说效果好而成本低的方案，具有很强的实用性。
姬会东[2]2004年在《移相干涉仪中主动抗振及电器集成控制技术研究》文中提出移相干涉术是一种高精度、高灵敏度的光学测试方法，极易受外界振动的影响，为解决光干涉测试中的振动问题，本文在比较了国内外干涉抗振技术后，提出了采用光外差干涉测量振动，以PZT为振动补偿元件的主动抗振方案；详细讨论了抗振方案的原理、电路系统的设计制作、DSP的程序编制；最后进行了抗振实验。实验表明在50Hz·λ以下的振动条件下，电路系统能在驱动PZT进行振动补偿的同时实现移相，计算结果和没有振动时一致。 数字波面干涉仪是集光、机、电、算于一体的智能化测试仪器，电器部分的比重很大，为此需要研究干涉仪的电器集成控制。本文采用微处理器作为整个控制电路的核心，全面介绍了电路的设计原理，编制了相关控制程序，最后在干涉仪上进行了联机调试。实验表明整个电器集成控制电路工作稳定、可靠。
参考文献：
[1]. 主动抗振技术研究——单点探测与PZT补偿[D]. 吴子明. 南京理工大学. 2003
[2]. 移相干涉仪中主动抗振及电器集成控制技术研究[D]. 姬会东. 南京理工大学. 2004