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1959年，物理学家、诺贝尔奖获得者理查德·费曼预言，人类可以用小的机器制作更小的机器，最后将逐个地排列原子，制造产品，这是关于纳米技术最早的梦想。
70年代末，美国麻省理工学院德雷克斯教授成立了由他领导的纳米科技研究组。
1982年，科学家发明研究纳米的重要工具——扫描隧道显微镜，为我们揭示了一个可见的原子、分子世界。
1990年7月， 第一届国际纳米科学技术会议在美国巴尔的摩与第五届国际扫描隧道显微学会议同时举办，《纳米科技》和《纳米生物学》两种国际性期刊同年相继问世，一门崭新的科学技术——纳米科技历经30年曲折道路终于正式诞生。80年代末期到90年代初期，基于扫描隧道显微镜的基本原理，原子力显微镜、磁力显微镜等一系列扫描探针显微镜已经发展起来。
1991年，碳纳米管被人类发现，它的质量是相同体积钢的1／6，强度却是钢的10倍，成为纳米技术研究的热点。诺贝尔化学奖得主斯莫利教授认为，纳米碳管将是未来最佳纤维的首选材料，也将被广泛用于超微导线、超微开关以及纳米级电子线路等。
1993年，中国科学院北京真空物理实验室自如地操纵原子成功写出“中国”二字，这标志着我国继1989年美国斯坦福大学搬走原子团“写”下斯坦福大学英文名字、 1990 年美国国际商用机器公司在镍表面用36个氙原子排出“IBM”之后， 在国际纳米科技领域开始占有一席之地。
1997年，美国科学家首次成功地用单电子移动单电子，利用这种技术可望在20年后研制成功速度和存贮容量比现在提高成千上万倍的量子计算机。
1999年，巴西和美国科学家发明了世界上最小的“秤”，它能够称量十亿分之一克的物体；此后不久，德国科学家研制出能称量单个原子重量的秤。
不久前，中科院金融研究所卢柯博士率领的小组，在世界上首次直接发现纳米金属的“奇异”性能——超塑延展性，纳米铜在室温下竟可延伸50多倍而“不折不挠”。
到1999年， 纳米技术逐步走向市场， 全年纳米产品的营业额达到500亿美元。