安靠封装测试（上海）有限公司 上海市 200131
摘要：半导体制造类公司就本身而言，非常注重安全的管理，而半导体行业的标准也是在逐步的加强。现阶段，我国半导体生产制造企业一般都按照美国等欧美发达国家的半导体生产标准进行生产。虽然有了一些半导体生产的标准，但一般认为，作为一种新兴的高科技产业，半导体生产的标准体系仍然在摸着石头过河，随着生产技术的革新不断地成熟。近年来，先后在美国、中国台湾及内陆发生了多次火灾，给半导体制造企业的应急响应和安全管理带来了新的警示。基于此，本文主要对半导体制造企业应急响应管理中的优势与劣势进行分析探讨。
关键词：半导体制造企业；应急响应管理；优势；劣势
1、前言
半导体制造型工厂因其在生产过程中会使用到多种多种易燃易爆、高毒及腐蚀性的化学品，加之大型的锅炉、冰机等特种设备的使用，使得半导体制造公司不期然成为高风险的行业。同时因产品需在洁净环境下进行，如果有火灾发生，那怕只是少量烟雾产生，也会给设备及产品造成很大破坏，从而造成重大损失。
2、优势分析
作为高危行业，通过近年来的持续发展，各国相应地建立起来了完善的应急响应管理体系，有效地保证了半导体生产的安全有序进行。主要的应急管理优势主要有以下几个方面：
2.1半导体生产制造企业向来重视半导体的安全生产管理
半导体生产制造的安全管理不仅仅是要遵守国家相关法律法规和安全生产标准进行生产，更是企业自身发展的需要。近年来，我国相继发生的海力士半导体火灾、812天津爆炸等事故，在整个行业造成了严重的影响，这不仅仅是企业经济效益的损失，半导体行业发生安全生产事故，影响到的更是环境的大面积污染和人生伤害，随着国家对人的生命安全提到法律的高度，一旦发生人生生命安全的事故，甚至于造成整个工厂的关停破产。因此，对于半导体生产制造厂家来说，一般都会建立健全完整的安全生产责任制、岗位安全操作标准、安全生产技术标准、应急处置管理办法、员工安全生产培训制度、安全值守以及巡检等等一系列的规章制度，以保证现场的安全生产操作。这从思想认识上和机制建设上就保证了整个生产过程的良好有序、安全稳定。
2.2半导体产品均按照本质安全的标准进行生产制造，有效地保证了产品自身安全
从20世纪末期开始，无论是半导体制造业的工厂修建、生产设备、防护设施都在不断优化中进行改进和完善，并形成了一个完整的产业链标准化体系，这对半导体产品的安全生产具有很重要的保障。例如，在半导体厂房修建前期，就要将动力供应设施、化学供应装置分别与主厂房进行分离建设，并按照相应的标准进行确定建设位置。这样就能够在危险发生时，率先保证人员的安全。在芯片生产设施方面，建立有专门的标准，将“失效也安全”的原则贯穿于生产的全过程，保证产品的本质安全。各类化学用品的运输和管理上，都要采取相应的管材和标准材质，确保生产的产品满足安全需求。同时，大多数半导体生产厂均采取双回路、双电源供电方式，保证工厂不会出现因突然停电或者断电造成不安全事故。
2.3半导体生产厂家均建立完善了防灾救援设施
除了上文提到的生产厂家人为重视并建立本质安全等措施外，现在的半导体生产厂家均建立起了系统完善的防灾救援设施。例如，对有毒气体的控制，通过特制传感器及时将气体情况进行探测并传输到监控场所，实施人为控制。采取烟雾报警装置，特别是使用VDSDA系统，侦测到微米级烟雾，实现提前预警。
期刊文章分类查询,尽在期刊图书馆同时，还建设有消防灭火、漏水、漏电、化学品等侦测鉴别系统，及时发现和预报可能出现的灾害，将灾害消灭在萌芽状态。
2.4建立完善了良好的安全管理体系
安全管理体系的建立是半导体生产工厂最为关键的措施。通过设立专门的紧急处置机构，实施二十四小时值守，对发生突出状况进行统一调度指挥和抢险救灾。同时，建立有良好的应急预案制度，成立专门安全生产监察机构，每班生产期间都派驻安监人员进行现场检查，及时发现和处理出现的问题。另外，还建立有完善的火灾、毒气、化工、防汛等救援预案，定期进行各种灾害的应急救援演练，提高工厂的抗灾防灾能力。
综上所述，半导体生产行业具有其特殊性，一般的生产厂家都会在应急响应和安全管理上投入大量人、财、物。这一方面相较于其他行业是一项巨大的优势所在，也在根本上保证了半导体工厂和车间的安全生产。
3、劣势
3.1专业性不足
相比而言，除了专设的紧急应变中心外，其他的ERT成员均由各生产及职能部门的成员兼职。而紧急应变中心的成员一般也是由各工厂根据自已的经验培训上岗，并非经过专业的应急处置培训。当然目前也有部分公司直接招聘退伍的消防士官来加强应急处置能力，但对比半导体工厂风险的复杂性还是略显不足。因此，有着比较丰富的应急处置经验，同时又对半导体工厂的风险及基础建筑等非常了解的人员就显得非常重要。
3.2应急处置后续能力不够（仅能保证对初期灾害的处置与控制）
就目前来讲，针对人力和处置能力的不同，半导体工厂的应变原则为：第一保障人员安全，在此基础上可以消除或控制初期灾害。但当灾害扩大时，以目前的处置能力尚不足以应对。对此可以参考台湾新竹园区的作法，由各家半导体工厂联合，组成一支准专业的应急小队，相比较专业的消防官兵，这支对工厂环境更了解，半导体工厂的应急处置经验更丰富的应变小队可以在消防队到来之前，根据现场的实际情况采取更有效的应急措施，更高效地降低对工厂设备设施造成的次生损坏。
3.3经验不足（设备长期运行与二手机台等风险不明）
因为半导体产生总体来讲还是属于新生产业，目前国内大部分的半导体工厂运行都在10年左右。而设备在长期运行以后会因为一些微变化的逐渐累积而带来一些灾害性的质变。如长期运行的易燃气体排风管路（不锈钢）内的副产物在打开管路时自燃的危险、长期运行的抽气泵管路因微震而导致连接处法兰松动泄漏等，还有一些未知的长期影响而产生的隐患等都因为经验的不足而不能提前预知，只能在等发生过之后才能知晓。
另外，因为条件的限制，目前二手机台的使用相当普遍。而二手机台在拆机时，以及拆机后不会严格按照新机台的标准对机台进行除污或配置必须的安全装置，如联锁装置、报警装置等。同时因为原厂的制程需要，对机台有过改动的地方也不会按照原来的标准进行恢复。因此二手机台在安装使用中存在很多的未知风险，有些隐患会导致大灾害的发生。以上几点劣势，笔者建议可参考化工行业，由同一园区内的几大半导体代工厂联合成立专业的应急抢险队。针对各大半导体工厂的特点，配备专业的灾装备，同时对应急成员进行系统化的专业训练。尽
管成立专业的应急队伍耗资巨大，但好处在于如果这样的一支队伍存在，可以快速、准确地对半导体工厂发生的灾害进行有针对性的应急响应，最高效地避免灾害扩大的同时，尽量避免在除灾过程中对洁净环境带来次生影响，减少由于生产中断对企业效益带来的间接损失。
4、结语
从以上论述中可以看出，半导体工厂在其基础设施、安全管理等方面，相比较其他行业有着鲜明的特点与优势。同时也因为这是一个新兴的产业，在经验与风险管控方面有着无法克服的弱点，其配套的法规与标准也是在实践中慢慢发展。因此，要更好地做好应急响应的管理，首先是应该做好安全管理，预防第一，尽可能地避免意外事故的发生。当然也需要搭建各工厂间安全管理与应急处置的交流平台，以共享各自的经验教训，共享应急处置的资源，联合共建，以壮大各工厂的应急处置力量。最大化地保障公司与员工的安全。
参考文献：
[1]张心晖.浅谈半导体制造企业应急响应管理中的优势与劣势[J].集成电路应用，2015，（8）：38-40.
[2]蔡静莉.浅谈半导体企业之环境风险评估及风险防范措施[J].建筑工程技术与设计，2015，（28）：123.
论文作者:杨小明
论文发表刊物:《防护工程》2019年第1期
论文发表时间:2019/4/24
标签：半导体论文; 工厂论文; 机台论文; 标准论文; 灾害论文; 发生论文; 制造企业论文; 《防护工程》2019年第1期论文;