MEMS反射镜静电斥力致动器结构参数设计论文_闫思齐1，姜苈峰2

（1.空军航空大学，吉林长春，130022；2. 空军航空大学，吉林长春，130022）

摘要：本文对静电斥力驱动器最大旋转行程进行建模，推导出了产生最大转矩的指端宽度和旋转角度。以此设计指端宽度这项重要结构参数，以实现对于一个给定的物理参数，如驱动器的宽度W和长度L，悬架弹簧的转动刚度和驱动电压V，使驱动器能达到最大旋转行程。

关键词：MEMS；参数设计

参考文献

[1] D. A. Keoster, M. Mahadevan, B. Hardy, and K.W. Karkers, MUMPs Design Handbook Revision 7.0. San Jose, CA: Cronos Integr. Microsyst.,A JDS Uniphase Co., 2001.

[2] S. He and R. Ben Mrad, “Design, modeling, and demonstration of a MEMS repulsive-force out-of-plane electrostatic micro actuator,” J. Microelectromech. Syst., vol. 17, no. 3, pp. 532–547, Jun. 2008.

论文作者:闫思齐1，姜苈峰2

论文发表刊物:《科技新时代》2018年7期

论文发表时间:2018/9/25

本文来源: https://www.lw33.cn/article/18b9905e4da7a9ee1152d7bf.html