晶片论文
抛光机转速比对蓝宝石衬底抛光后形貌的影响论文_赵伟
赵伟重庆四联光电科技有限公司重庆市北碚区400700摘要:宝石(Sapphire)是一种氧化铝(α-Al2O3)的单晶,又称为刚玉。蓝宝石单晶具有熔点高(2040℃...酸腐蚀对抛光片SFQR的影响论文_宋晶,吕菲,李春龙,田原
(中国电子科技集团公司第四十六研究所天津市300220)摘要:针对酸腐蚀过程中不同腐蚀去除量以及硅片的不同转速,探究抛光后SFQR的变化,同时,对酸腐蚀处理后的表面形貌进行了对...砷化镓晶片表面自然氧化问题研究论文_周铁军,廖彬
广东先导先进材料股份有限公司511517摘要:本文用椭偏仪测量砷化镓表面氧化层的厚度,并用XPS分析砷化镓表面氧化层的化学组成和氧化层的厚度,发现,清洗后的砷化镓晶片表面会发生...