mems传感器论文

梅欣：薯片的局外人_赵阳论文
美新：芯片异行者，本文主要内容关键词为：行者论文,芯片论文，此文献不代表本站观点，内容供学术参考，文章仅供参考阅读下载。无论走在哪里，赵阳都会给人一种鹤立鸡群的感觉。这不仅仅是...
叉指式微加速度计的系统仿真分析
寇剑菊[1]2003年在《叉指式微加速度计的系统仿真分析》文中认为叉指式微加速度计是一种典型的微机电系统产品，由于它的高灵敏度、好的直流响应、低噪声、低漂移、对温度的敏感性低、低能耗、结构简单的优点，使其有着广泛的应用前景，也是目前国内外攻关的热点之一。微加速度计涉及到多学科领域的相互作用，如何用模...
微机械加工电容式压力传感器及信号处理技术研究
周伟[1]2006年在《基于倒装技术的MEMS电容式压力传感器研究》文中认为MEMS压力传感器在工业生产、医疗卫生、环境监测以及科学研究等众多领域有着广泛的应用。电容式压力传感器是MEMS压力传感器的一种主要类型,其根本原理是将压力变化值转换为电容的变化。在专用集成电路迅速发展的今天,MEMS电容式...