cvd论文

CVD Ir/Re复合材料研究
宋阳曦[1]2015年在《化学气相沉积氮化硼薄膜的工艺、结构和性能研究》文中认为氮化硼薄膜是一种类石墨烯蜂巢晶格结构的薄膜,由交替的硼原子和氮原子组成。氮化硼薄膜继承了氮化硼块体材料的力学、电学、热学和光学方面的优异性能,并且由于其特殊的二维结构,使其拥有更多的特性和更广泛的应用前景。氮化硼薄膜目前...