氮化硅论文

中芯国际集成电路制造（天津）有限公司氮化硅薄膜是一种重要的精细陶瓷薄膜材料，它既是优良的高温结构材料，具有良好的抗冲击、抗氧化和高强度等特点；同时具有很多优良的性能，如硬度高、...

葛伟萍[1]2003年在《合金元素对氮化硅制备的影响与研究》文中提出本课题以硅粉为原料，合金元素为添加剂，用硅粉直接氮化法制备氮化硅，并对添加剂种类及含量、氮化工艺等进行研究，并对氮化硅的形成机制和部分添加剂的作用进行了探讨。在Fe、Mg、Al、Ti四种合金元素添加剂中，Fe对硅粉氮化促进效果最显着...