电子束曝光论文

纳米光刻技术的现状与发展_光刻技术论文
纳米光刻技术现状与进展，本文主要内容关键词为：光刻论文,纳米论文,进展论文,现状论文,技术论文，此文献不代表本站观点，内容供学术参考，文章仅供参考阅读下载。引言纳米科技是20世...
120keV辐照电子枪的研制
张洪[1]2004年在《120keV辐照电子枪的研制》文中认为直接暴露在太空中的航天材料是否能够经得起各种辐射的打击,是需要经过实验验证的。设计一个辐照电子枪的目的就是产生大面积高能量的均匀电子辐射,模仿太空中的电子辐射对材料进行考验。这个电子枪的设计目标是产生能量为120keV的电子,在直径约30...