功率计论文

张雨燕[1]2000年在《微结构热电偶波功率计设计与制造》文中研究表明微电子机械系统(MEMS)近年来发展很快。其设计与制造和通常半导体技术有相似也有不同。本文利用微结构型微波功率传感器的设计和制造具体说明了这种差异。功率测量已成为电磁测量的重要部分。采用半导体技术和微梁结构的热电偶功率计克服了熔断...