光刻胶论文

大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究
陈龙江[1]2010年在《曲面激光直写中若干关键技术研究》文中研究指明本课题搭建了一套新型兼顾直角坐标与极坐标的激光直写系统,该系统与以往的常规直写系统不同,通过创新的恒姿态结构,以光刻光路与闭环检测光路设计成分立体系,将整个光学准直聚焦系统和焦点检测的闭环反馈光路系统同时构建于一个高精度的一维平动...