化学机械抛光论文

单晶硅晶片化学机械抛光基本特性研究侯保江1,安亚青2,水涌涛1,孙向春1(1.北京航天长征飞行器研究所，北京100076；2.中国运载火箭技术研究院，北京100076)摘要：实...