化学气相沉积论文

张豫鹏[1]2014年在《石墨烯与高质量石墨烯：可控制备、表征、性能与应用》文中研究表明2010年10月5日,瑞典皇家科学院宣布,将2010年诺贝尔物理学奖授予英国曼彻斯特大学科学家安德烈·海姆(AndreGeim)和康斯坦丁·诺沃肖洛夫(KonstantinNovoselov)...

汲大朋[1]2007年在《电化学法沉积类金刚石膜的研究》文中指出类金刚石膜(DLC)具有许多优异的性能，包括高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、优良的光学性能、高阻抗值、良好的生物相容性等等，使其在很多领域具有相当的应用前景。类金刚石膜的制备分为气相法和液相法，气相法的发展较早，工艺成熟；而液相法是一种...

陈俊英[1]2000年在《CH4/H2系统电子助进热丝化学气相沉积动力学过程研究》文中认为本文采用蒙特卡罗方法，首次对H_2和CH_4混合气体作为源气体的EACVD动力学进行了研究，初步建立了EACVD气相动力学模型，得到结果如下：存在一个合适的E/N（电场与气体粒子数密度之比，单位为1Td=10~...