辉光放电论文

孙爱萍[1]2000年在《低温等离子体应用中的几个理论问题》文中指出低温等离子体在微电子、材料制备、环保、航空航天、军事等领域起着越来越重要的作用,而很多的理论问题有待人们去解决。本博士学位论文第一部分第一章介绍了低温等离子体的分类及几种常规的工业应用;第二章简单介绍它在环保和通信方面的一些应用:第...