键合论文

半导体器件集成电路用键合金丝产业化技术的研究
张昆[1]2003年在《半导体器件集成电路用键合金丝产业化技术的研究》文中指出本论文对“键合金丝产业化技术改造”项目的研究工作作了详细的描述。我们在对国内外的键合金丝生产及研究现状进行详细分析与研究之后，确立了项目的研究内容并提出了项目的预期目标。我们认为，加强过程控制是保证微细金丝质量和批量稳定的...