晶硅生长论文

材料仿真软件用于晶硅生长实训教学的探索徐立波常州工程职业技术学院江苏常州213017摘要：通过使用模拟软件，解决了实训中学生操作不规范性，参数设置不恰当，设备选型盲目，性能检测...