镜面抛光论文

大口径碳化硅质反射镜数控光学加工的研究
范镝[1]2004年在《大口径碳化硅质反射镜数控光学加工的研究》文中研究说明随着空间光学技术的发展,传统反射镜材料已经不能满足空间光学系统的要求。碳化硅(SiC)材料以其较高的弹性模量,适中的密度,较小的热膨胀系数,较高的导热系数,耐热冲击性,高的比刚度和高度的尺寸稳定性等一系列优秀的物理性质,引起...
磁流变抛光技术的研究
王永强[1]2016年在《大抛光模磁流变超光滑平面抛光技术研究》文中研究表明近年来,随着信息电子技术、光电技术及半导体照明技术的迅速发展,超光滑平面元器件需求越来越大,这些表面要求达到亚纳米级表面粗糙度、微米级面形精度且无表面和亚表面损伤,传统超精密抛光技术由于耗时、成本高、易产生表面损伤,难以满足...