脉冲激光沉积论文

王淑芳[1]2000年在《脉冲激光沉积氮化碳薄膜及其生长机理研究》文中提出本工作利用等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长氮化碳薄膜。通过扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、X射线光电子谱（XPS）、俄歇电子能谱（AES）等多种技术手段，对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特...