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单晶硅晶片化学机械抛光基本特性研究论文
单晶硅晶片化学机械抛光基本特性研究侯保江1,安亚青2,水涌涛1,孙向春1(1.北京航天长征飞行器研究所,北京100076;2.中国运载火箭技术研究院,北京100076)摘要:实...