抛光液论文

蚌埠中光电科技有限公司安徽省蚌埠市233000摘要：为了抑制抛光粉纳米颗粒的团聚，改善抛光液的性能，使光学玻璃获得更高的抛光速率与更低的表面粗糙度，在氧化铈抛光液中添加阴离子表...

广东长盈精密技术有限公司[摘要]本文主要对铝材阳极氧化处理加工期间抛光液整个配制实验操作，进行了深层次的分析与研究。从而能够通过该实验操作过程，切实的了解到铝材阳极氧化处理加工...

连军[1]2002年在《超大规模集成电路二氧化硅介质层的化学机械抛光技术的研究》文中研究说明随着集成电路技术的飞速发展，集成度越来越高，特征尺寸越来越小，导致了结构的立体化，布线多层化。这就对内部层与层之间的表面要求更高，尤其是层表面的平整度，而传统的抛光工艺已不能满足这一要求，而化学机械抛光技术不...

王永强[1]2016年在《大抛光模磁流变超光滑平面抛光技术研究》文中研究表明近年来,随着信息电子技术、光电技术及半导体照明技术的迅速发展,超光滑平面元器件需求越来越大,这些表面要求达到亚纳米级表面粗糙度、微米级面形精度且无表面和亚表面损伤,传统超精密抛光技术由于耗时、成本高、易产生表面损伤,难以满足...