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位置敏感探测器的研究
高帅[1]2015年在《直线导轨多自由度几何误差同时测量中误差分析与补偿方法的研究》文中研究指明摘要：直线导轨是机械制造业中,精密与超精密设备的关键部件。直线导轨的精确度将直接影响着设备的加工精度,对其精度进行精密检测尤为重要。传统测量方法中的单参数测量费时费力,因此需对多自由度误差同时测量进行研究...