双面研磨机论文

杨建东[1]2001年在《双面高速研磨机研制》文中提出研磨是一种重要的精密和超精密加工方法,特别是需要研磨加工两端面的工件数量非常大,如集成电路芯片,平板玻璃等。这就需要采用双面研磨机。目前国内外双面研磨机主要是慢速散粒磨料研磨机,其加工效率较低。本文研制一种新型双面高速研磨机。李俊烨[2]2006...