微机电系统论文

微机电系统（MEMS）技术及其应用
一、微机电系统(MEMS)技术及其应用（论文文献综述）张文花[1]（2021）在《随机激励下微悬臂梁的瞬态振动响应研究》文中研究指明微机电系统（MEMS）是一种微型化的设备,它...
微机械加工电容式压力传感器及信号处理技术研究
周伟[1]2006年在《基于倒装技术的MEMS电容式压力传感器研究》文中认为MEMS压力传感器在工业生产、医疗卫生、环境监测以及科学研究等众多领域有着广泛的应用。电容式压力传感器是MEMS压力传感器的一种主要类型,其根本原理是将压力变化值转换为电容的变化。在专用集成电路迅速发展的今天,MEMS电容式...