微机械陀螺仪论文

微机械陀螺的材料及器件设计研究
刘广军[1]2007年在《音叉振动式微机械陀螺结构拓扑自组织设计方法的研究》文中研究指明微结构拓扑设计是结构设计中的难点和热点问题,也是结构设计领域的前沿研究方向。微结构拓扑设计是制约MEMS实用化的关键技术之一,设计和制作出高性能、高灵敏度的微器件结构是MEMS实用化的重要保证。从微结构拓扑出发,...