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Ⅲ-N材料的RF Plasma MBE生长及物理研究
李一倬[1]2014年在《低温等离子体耦合催化去除挥发性有机物的研究》文中进行了进一步梳理随着现代工业的发展,我国因VOCs排放而引起的大气污染问题日益严重。目前常用于有机废气处理的技术包括:冷凝、溶液吸收、吸附、膜分离、生物处理、燃烧法、臭氧氧化、光催化等,然而这些技术很难同时对多组分VOCs进行...