移相干涉论文

吴子明[1]2003年在《主动抗振技术研究——单点探测与PZT补偿》文中指出光干涉测试是一种高精度的测试，极易受外界振动影响，为解决光干涉测试中的振动问题，本文首先介绍了国内外干涉仪抗振技术的发展情况，比较了几种常用方案的优缺点，在大量实验基础上，本着工程化的目的，提出了以压电陶瓷移相器(PZT)为...