真空设备论文

徐建蒋利锋，刘放，张强，刘豪中电科技重庆声光电有限公司400060摘要：本文主要针对半导体专用设备的真空系统维修展开深入研究，主要通过真空获得、真空测量以及真空检漏等，以此来完...

沈阳拓荆科技有限公司110000摘要：真空设备要达到及维持其工艺所需的真空度，整个真空系统的漏率必须满足要求。真空系统通过不同的密封方式既要保证零件的可靠连接又要保证真空系统的...