• CVD Ir/Re复合材料研究

    CVD Ir/Re复合材料研究

    宋阳曦[1]2015年在《化学气相沉积氮化硼薄膜的工艺、结构和性能研究》文中认为氮化硼薄膜是一种类石墨烯蜂巢晶格结构的薄膜,由交替的硼原子和氮原子组成。氮化硼薄膜继承了氮化硼块体材料的力学、电学、热学和光学方面的优异性能,并且由于其特殊的二维结构,使其拥有更多的特性和更广泛的应用前景。氮化硼薄膜目前...
  • 类金刚石膜的制备与特性研究

    类金刚石膜的制备与特性研究

    汲大朋[1]2007年在《电化学法沉积类金刚石膜的研究》文中指出类金刚石膜(DLC)具有许多优异的性能,包括高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、优良的光学性能、高阻抗值、良好的生物相容性等等,使其在很多领域具有相当的应用前景。类金刚石膜的制备分为气相法和液相法,气相法的发展较早,工艺成熟;而液相法是一种...
  • CVD法低温合成纳米金刚石薄膜及其动力学研究

    CVD法低温合成纳米金刚石薄膜及其动力学研究

    段苹[1]2001年在《CVD法低温合成纳米金刚石薄膜及其动力学研究》文中研究说明本文论述的是低温下合成纳米金刚石薄膜及其动力学研究。实验采用辉光等离子体辅助热丝CVD技术,并尝试在热丝与基片之间加入一个栅极,目的是降低基片温度,改变电场分布,用栅极模仿和制造一个电偶极层,研究其对金刚石低温沉积的影...
  • 无氢非晶金刚石薄膜的制备及其电子场发射性能研究

    无氢非晶金刚石薄膜的制备及其电子场发射性能研究

    茅东升[1]2000年在《无氢非晶金刚石薄膜的制备及其电子场发射性能研究》文中研究说明在国家<八六三>计划资助下,中国科学院上海冶金研究所于1995年建立了国内第一台真空磁过滤弧源沉积(FAD)装置,并成功用于非晶金刚石薄膜的制备、电子场发射性能的研究及非晶金刚石薄膜冷阴极场发射二极管的制作。本项目...